產(chǎn)品時(shí)間:2024-08-07
硫化氫質(zhì)量流量計(jì)Aera氣體質(zhì)量流量計(jì)FC-R7800CD 氣體質(zhì)量流量控制器◆ 流量可覆蓋10sccm-200slm包含腐蝕性氣體(相對(duì)于N2)◆ 快速反應(yīng)◆ 模擬通訊控制模式,金屬密封◆ 高可靠性和實(shí)用性
硫化氫質(zhì)量流量計(jì)
Aera流量計(jì) Aera 氣體質(zhì)量流量控制器
FC-R7800CD FC-R7810CD FC-R7820CD
質(zhì)量流量控制器是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中的成膜、蝕刻等供氣系統(tǒng)中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產(chǎn)品在閥門上搭載使用自己開發(fā)的Ni-Co合金的波形隔膜,對(duì)于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結(jié)構(gòu),結(jié)合各種用途備齊了豐富的產(chǎn)品系列。今后,我們也將為應(yīng)對(duì)不斷發(fā)展進(jìn)步的半導(dǎo)體工藝的要求,推出高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,為半導(dǎo)體的制造技術(shù)的發(fā)展做貢獻(xiàn)。
Aera質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品源于美國(guó),是流體控制領(lǐng)域的標(biāo)志性企業(yè)
硫化氫質(zhì)量流量計(jì) 性能:
快速的響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間<1秒.
精度≤1%FS 線性度小于等于0.5%FS 重復(fù)性≤0.2%FS
易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸
高度的可靠性和穩(wěn)定性
特點(diǎn):
耐腐蝕性,流量范圍從10sccm-200slm
VCR® 及 Swagelok®共容性連接
全金屬密封
常關(guān)或常開的電磁控制閥
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He
Aera創(chuàng)建于美國(guó),是一家提供流體測(cè)量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國(guó)高科技企業(yè),掌握行業(yè)*的流體測(cè)量及控制技術(shù),專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料,平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器,氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品,客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。